CVD/PECVD

類別

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CVD PECVD 

1/車刀片膜層運用 

2/ 能沉積高厚度[5-15uml 

3/ 高硬度 

4/ 高溫度穩定性 

5/ 高抗氧化溫度

►FTIN 

►TICN

►TiSiN  

►AI203 

►超高鋁[鋁含量50~70%]